Технология протонного облучения для улучшения характеристик силовых диодов и тиристоров
29 Декабря 2011
Владимир Губарев
Александр Семенов/ "Протон-Электротекс", генеральный директор
Алексей Сурма / "Протон-Электротекс", начальник научно-технического центра
Валерий Столбунов
Описана автоматизированная технологическая линия для протонного облучения СПП, позволяющая имплантировать атомы водорода в кремниевую структуру на глубину до 1000 мкм.
