Новые возможности изготовления мощных быстродействующих тиристоров
Дмитрий Титушкин / "Протон-Электротекс", инженер-технолог
Анатолий Черников / "Протон-Электротекс", заместитель технического директора по новой технике
Алексей Сурма / "Протон-Электротекс", начальник научно-технического центра
Сергей Матюхий / "Госуниверситет – УНПК"
В статье обсуждаются новые возможности изготовления мощных быстродействующих тиристоров за счет применения технологии низкотемпературного соединения кремниевых кристаллов и молибденовых дисков посредством синтеринга на серебряную пасту. Эта технология объединяет все преимущества несплавного метода (free floating silicone technology) и сплавления на силумин (alloying to siluminium). Применение этой технологии позволяет изготавливать быстродействующие тиристоры с диаметром полупроводникового кристалла 100 мм и более. Новые приборы имеют повышенную циклостойкость и быстродействие, а также меньшее тепловое сопротивление.
