Технология протонного облучения для улучшения характеристик силовых диодов и тиристоров

29 Декабря 2011

Владимир Губарев 
Александр Семенов/ "Протон-Электротекс", генеральный директор
Алексей Сурма /
 "Протон-Электротекс", начальник научно-технического центра
Валерий Столбунов 

Описана автоматизированная технологическая линия для протонного облучения СПП, позволяющая  имплантировать атомы водорода в кремниевую структуру на глубину до 1000 мкм.

ЧИТАТЬ статью

Вернуться назад

АО «Протон-Электротекс»

Адрес: Россия, 302040, г. Орел, ул. Лескова 19, пом.27, оф. 14

Отправить заявкуОтправить заявку
Задать вопросЗадать вопрос
Оставить отзывОставить отзыв