Анализ современных пассивирующих покрытий для фаски полупроводниковых приборов в условиях импортозамещения: проблемы и пути решения
Авторы:
А.А. Рулева
В статье проводится комплексный анализ современных пассивирующих покрытий для фаски мощных полупроводниковых приборов в контексте задач импортозамещения. Рассмотрены основные классы материалов: неорганические диэлектрики (SiO₂, SiOxNy, a-C:H:SiOx, AlN), полиимиды и кремнийорганические компаунды. Для каждого класса систематизированы ключевые преимущества, недостатки и функциональные характеристики, такие как электрическая прочность, адгезия, термостабильность, барьерные свойства и технологичность. Особое внимание уделено проблемам технологической зависимости от иностранных материалов и оборудования. На основе сравнительного анализа выявлены наиболее перспективные направления для разработки отечественных аналогов, способных обеспечить требуемую надежность и долговечность полупроводниковых приборов.
