Анализ влияния технологических дефектов кремниевых пластин на параметры надёжности силовых полупроводниковых приборов
4 Декабря 2025
Авторы:
И.А. Суворов
Е.С. Железова
Данная работа посвящена системному анализу дефектов в кремниевых пластинах, которые являются критическим фактором, ограничивающим надежность и выход годной продукции мощных силовых приборов. В ней рассматриваются методы диагностики, классификация дефектов и современные технологические подходы к их минимизации, такие как геттерирование и отжиг. Целью исследования является установление причинно-следственных связей "технология дефект-отказ" и формирование рекомендаций по контролю качества для повышения эффективности производства.
