Влияние профиля легирования на динамические характеристики силовых низкочастотных диодов
С.И. Матюхин
А.С. Мурко
А.А. Васяев
Д.А. Титушкин
Методами приборно-технологического компьютерного моделирования изучена зависимость динамических характеристик силовых низкочастотных диодов от технологических режимов и параметров диффузионных процессов при изготовлении.
Рассмотрены параметры обратного восстановления блокирующей способности силовых низкочастотных диодов при разных температурах в зависимости от профиля легирования. Результаты демонстрируют, как различные параметры и режимы диффузионных процессов оказывают влияние на процесс обратного восстановления силового низкочастотного диода.